
光器,即来自分布式反馈激光360百科器,其不同之处是内置了布拉格光栅(Bragg 书标Grating),属于侧面发射的半导体激光器。DFB激光器主要以半导体材料为介质区因耐普制错友,包括锑化镓(GaSb)、砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)、硫化锌(ZnS局资夜服)等。DFB激光器最大特点是具有非常好的单色性(即光谱纯度),它的线宽普遍可以做到1MHz以内,以及具有非常高的边模抑制比(SMSR),可高达40-50dB传件息向己那执冲吗以上。
- 中文名称 DFB激光器
- 外文名称 Distributed Feedback Laser
- 别名 分布式反馈激光器
制造工艺 DFB芯片的制作工艺来自非常复杂,体现了半导体产品在生产制造上的最360百科复杂程度,下表是DFB激光器的沿局图占及激留候主要生产工艺流程(从材优饭与跑员方妒料生长到封装的整个过程):
Process(工艺流程) | Back End(后续处理) |
GaSb-processing(锑化镓材料生长) | cleaving(切割) |
coating / lift-off(镀膜/剥离) | facet coating(端面镀膜) |
optical lithography(光学光刻) | characterization(参数塑造) |
连是青病 e-beam(电子束成象) | mounting (TO-header)(安装) |
vapor coa眼吧衣投社货换磁ting(气相涂盖) | fiber coupling(光纤耦合) |
etching(蚀刻) | burn-In(预烧) |
electroplating(电解沉积) | ...... |
按农散坚quality control(质量控制) | |
周调超最义延江反西取 …… |
DFB芯片结构设计 DFB芯片大小:如图1,芯片大小可以在成人大拇指上形象地看出来。
DFB芯片设计:芯片分为P极维够资功简妈克弱晚酸和N极,当注入p-室总n结的电流较低时,只有自发辐射产生,随电流值的增大增益也增站海附般现今大,达阈值电流时,p-n结产生激光。其注入电流方向和激光发射示意图如下:
示脸统立做质属意图
应用原理
一、光纤通讯
通讯是D协件了起土FB的主要应用,如1310nm,1550nm DFB激光器的应用,这里主要介绍非通讯波段DFB激光器的应用。
二、可调谐半导体激光吸收光谱技术(TDLAS)
a) 过程控制 (HCl帮, O2 …)
b) 火半次危理灾预警 (CO/CO2 ratio)
c) 成分检测 (moisture in natural gas)
d) 医疗应用 (blood sugar, breath 罗意广gas, helico染封油京bacter)
e) 大气测量 (isotope 际拉孔未但composition of H2O, O2, CO)
f) 泄漏检查 (Methane)
g) 安全 (H2S, HF)
h) 环境测量 (Oz置求移坚色one, Methan杀酒织e)
i) 科研 (Mars and space missions)
j) …
三、原子光谱学应用
k) 原子钟 (GALILEO, chip scale atomic clock)
l) 磁力计 (SERF)
m) ...
四、新兴市场
a) 精密测量 (Ellipsometry, 3D vision)
b) 夜视仪
c) 同位素监测 (distinction of 235UHF / 238UHF)
d) …
下表是DFB一些主要波长在激光气体分析、应用、Nd:YAG激光器种子源等领域上的应用:
DFB中心波长 | 主要应用 | DFB中心波长 | 主要应用 |
760/761/763nm | 氧气(O2)分析 | 1590nm | 硫化氢(H2S)气体分析 |
852nm | CsD2铯原子钟 | 1580/2330nm | 一氧化碳(CO)气体分析 |
894nm | CsD1铯原子钟 | 1579nm | 一碳二碳(CO/CO2)同时分析 |
1392/1877/2740nm | 水分子(H2O)分析 | 1654nm | 甲烷(CH4)气体分析 |
1064nm | Nd:YAG激光器种子源 | 1742nm | 氯化氢(HCl)气体分析 |
1178nm | 大功率光纤激光器种子源 | 1800nm/2650nm | 一氧化氮(NO)气体分析 |
1273nm | 氟化氢(HF) 气体分析 | 2004nm/2680nm | 二氧化碳(CO2)气体分析 |
1341nm | 溴化氢(HBr) 气体分析 | 2257nm | 氧化二氮(N2O)气体分析 |
1512nm | 氨气(NH3)气体分析 | 3370nm | 丙烷(C3H8)气体分析 |
1540nm | 氰化氢(HCN)气体分析 | ....... | ...... |
下图是Harvard所研究的Hitran数据库在750-3500nm之间的光谱吸收图,可以作为大部分气体分析的数据参考:
应用案例
愿 1.用于发电站· 严格监控各气体的成分比率:H2O, O2, CO, CO2, NH3, NO2等;
· 实现更快更有效的燃烧;
· 减少污染物的排放,减小能耗。
2.用于过程控制
· 监测HCl 的浓度,优化PVC材料的生产;
· 监测燃烧室中 O2, CO, CO2 的浓度,控制钢铁的熔炼过程。
3.用于管道检测
天然气管道成分、泄漏检测。
4.用于太空研究
比如用于NASA实验室,继俄罗斯航天局等。
厂商现状
当前,DFB激光器芯片技术基本上由德国、美国迅看、日本等发达国家掌握,来自比如德国Nanoplus、Sacher、Ea360百科gleyard、Toptica公司,美国Thorla客量赶农增磁室bs、EM4、Power Technology、Sarnoff公司,日本NTT、Oclaro等公司。厂商非常多,但能够实现眼往华落呢商业化生产的厂家并不多,主要有Nanoplus、Eagl井光肉eyard、NTT、Thorlabs等几家公司。
国内还没有成熟的DFB芯片生产技术,由于成品率低基本上没有形成商业态裂物杀化,国内生产的DF觉温良况调龙B激光器主要是基于对国外芯片的封装生产,主要表现为对通讯波段的生产移与和应用。
发展
DFB激光器的发展方向是,更宽的调谐范围和更窄的线宽,在一个DFB激光器集成两个独立的光栅,实现更一边植压汽越祖置跟如宽的波长谐调范围,比如达到100nm谐调范围,以乎让何酸普虽谁罪加及更窄的光谱线宽,最终用一个DFB激光器实现检测多种气体的功能;更长的中心此死六排波长,从750nm到3500nm,并逐渐往4000nm甚至更高的中心波长发展;更高的功率,由于DFB激光器功率普遍较低,高功率能够实现长距离、多路等更广泛的应用。
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